本文采用实验室自制的射频等离子体化学气相沉积(RF PECVD)设备在ITO玻璃基片上制备超薄类金刚石(DLC)膜。实验将沉积时间控制在1min之内,通过改变工艺参数(射频功率、两极板间距等)降低DLC薄膜的沉积速率,制备出超薄DLC膜。对不同工艺参数获得的超薄DLC膜的成分、结构、表面形貌、摩擦性能、光透过率等进行测试,从而确定出具有相对更优性能的超薄DLC膜制备工艺。实验结果表明,射频输入功率为600W、C4H10/Ar流量为1.5/25、两极板间距为10cm、基础真空度为1.5×10-2Pa,沉积时间控制在1min以内的超薄DLC膜具有较高的spa含量。沉积时间越短,sp3键含量越高,透光性能越好。沉积时间在20s以上的超薄DLC膜能够完全覆盖基片,而且其表面光滑、致密,颗粒分布均匀。本文还研究了在不同基片上沉积超薄DLC膜的表面形貌,确定ITO玻璃和生物玻璃是沉积超薄DLC薄膜的良好基底材料。本文通过在ITO玻璃上制备粒径大约80nm的Ag纳米粒子后,再采用上述工艺沉积超薄DLC膜,得到超薄DLC膜/Ag纳米粒子构成的LSPR界面。对其表面形貌和等离子体共振(LSPR)效应的传感灵敏度进行了表征和分析。结果表明,在沉积超薄DLC膜后,Ag纳米粒子的颗粒大小更均匀,LSPR效应吸收峰会发生红移,且峰型变得更尖锐。这为在Ag纳米粒子上沉积DLC薄膜对其起到保护作用的同时,提高基于Ag纳米粒子LSPR效应的传感器的分辨率提供了实验依据。由于Ag纳米粒子沉积超薄DLC膜后,周围介质的介电常数发生改变,其灵敏度变化十分明显。随着DLC薄膜厚度的增加,Ag纳米粒子的LSPR效应灵敏度降低。沉积时间为15s时,灵敏度为70.39nm/RIU;沉积时间为1min时,灵敏度明显降低。因此,选择沉积时间为20s,所制备的超薄DLC膜/Ag纳米粒子的LSPR界面传感灵敏度为64.75nm/RIU的效果相对最佳。本文还对Au@Ag核壳结构和超薄DLC膜/Ag纳米粒子界面的传感机理进行了讨论。