【摘 要】
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半导体制造业已迅速成为一项非常重要的产业，由于投资巨大、制造工艺复杂、市场竞争激烈、产品更新速度极快，半导体制造过程的调度和控制具有及其重要的作用。本文针对当前半导
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半导体制造业已迅速成为一项非常重要的产业，由于投资巨大、制造工艺复杂、市场竞争激烈、产品更新速度极快，半导体制造过程的调度和控制具有及其重要的作用。本文针对当前半导体制造系统的基本问题，如设备处理不同产品的设置时间控制、合理加工批量设置、设备发生故障状况下系统动态调整等问题，进行了系统和深入的研究。半导体制造系统是一个典型的离散事件动态系统，本文通过离散事件仿真技术根据实际调度策略的需要建立仿真模型进行系统分析。
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