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随着高精度加工技术在现代制造技术中地位的提升,越来越多的人开始研究超精密机床。高精度主轴作为超精密机床的核心部件更是成为了热门的研究内容。在各类主轴中,空气静压主轴凭借其高精度、低摩擦和长寿命等特点得到了广泛的关注。然而,由于它采用空气作为润滑介质,存在承载能力小和刚度低等缺点。因此,研究空气静压主轴的动静态特性以提高其精度、承载能力和刚度具有重要意义。 本文研究的主要内容包括: 1)设计了一种横向放置的高精度空气静压主轴结构 对空气静压主轴的总体方案进行了设计;对空气静压主轴的关键部件——空气静压径向轴承和空气静压止推轴承进行了参数设计。 2)基于Fluent对空气静压轴承进行了有限元仿真 基于Fluent完成了对空气静压径向轴承的有限元仿真,研究了不同的偏心率、周向小孔数和供气压强对其承载能力和刚度的影响;基于Fluent完成了对空气静压止推轴承的有限元仿真,研究了不同的止推轴承单边间隙对其承载能力和刚度的影响。 3)搭建了一套空气静压主轴实验装置 完成了主轴供气系统的设计,空气过滤器、油雾分离器和精密减压阀的选型;完成了空气静压主轴系统所需零件的加工及装配工作;搭建了主轴回转误差检测系统。 4)对空气静压主轴的动静态特性进行了实验研究 通过实验验证了本文提出的设计方案的可行性,理论计算和有限元仿真结果的准确性;检测了本文设计的空气静压主轴的偏心率,研究了不同的供气压强对主轴回转误差的影响;研究了不同的主轴转速对主轴回转误差的影响。