随着工业和建筑业的飞速发展,人类往大气中排放的污染性气体的量也与日俱增。然而,基于各种敏感颗粒材料的旁热式气体传感器仍遭受着可复制性差的困扰,这限制了该类气体传感器的应用。与此同时,薄膜技术及半导体工艺的飞速发展为传感器的批量生产提供了一种行之有效的方法,通过溶胶-凝胶法、旋涂工艺结合电子束蒸镀技术为制备高性能、适合批量生产的气体传感器开辟了一条新的道路。在本文中,我们分别以铁酸镧（La Fe O3）、铁酸钐（SmFeO3）材料为研究对象,探索了制备高性能薄膜气体传感器的相关工艺,讨论了薄膜气体传感器的敏感机理,主要内容如下:1.采用溶胶-凝胶法、旋涂技术结合退火工艺制备了La Fe O3薄膜,并且通过一系列实验和表征对薄膜的晶体结构和薄膜形貌进行了表征,以探索制备均匀紧密La Fe O3薄膜的最佳工艺。表征结果表明了制备的薄膜均匀致密。随后测试了La Fe O3薄膜气体传感器的传感性能,结果表明,在最佳工作温度下,薄膜气体传感器的检测下限低至50 ppb,并且在50 ppb-1 ppm HCHO浓度下展现出良好的灵敏度。研究了薄膜气体传感器的性能可重复性,发现不同批次的薄膜气体传感器的初始电阻值在3.17-3.35 MΩ的范围内波动,对1 ppm HCHO的响应值在1.29-1.38之间,相应的初始电阻阻值和响应值偏差分别为5.4%和6.5%,显示出优异的性能可重复性。最后,通过耗尽层理论和目标气体在材料表面电子交互的理论结合材料形貌和厚度,讨论了La Fe O3薄膜气体传感器的传感机理。因此,通过溶胶-凝胶旋涂法为高性能可批量生产的HCHO气体传感器开辟了一条新的道路。2.通过调控旋涂的转速和旋转时间等工艺对SmFeO3薄膜的成膜质量进行了探索,然后利用各种表征手段对薄膜的组成成分和微观形貌进行了确定。利用真空蒸镀技术制作了基于SmFeO3的薄膜气体传感器后,对其气体传感性能进行了探索,测试结果表明了SmFeO3薄膜气体传感器的检测下限为100 ppb,在低浓度（100 ppb-1 ppm）HCHO下具有良好的灵敏度和理想的选择性。最后将其与基于Ln Fe O3的薄膜气体传感器的气体传感性能进行了对比,探索了Ln Fe O3对HCHO气体传感器的增强机理。