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具有面心四方结构的L10有序化FePt合金具有极高的单轴磁晶各向异性能Ku(-7×107erg/cc),并且化学性质稳定,在开发高密度垂直磁记录介质、垂直磁性隧道结等方面具有潜在的应用前景。应用中,自然生长的磁性颗粒存在颗粒尺寸不均、形状不规则及排列无序等问题。用微加工法制做人工阵列是解决问题的途径之一,但前提是要获得优质连续的薄膜。FePt合金形成L10相需要高温热处理,往往会破坏薄膜的连续。本文通过控制生长条件和热处理环境制备出高质量的连续L10-FePt薄膜。磁力显微镜已经成为获取亚微米尺度微