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干式真空泵是未来真空泵的发展趋势,具有广阔的市场。但国产干式真空泵的可靠性不高,平均无故障运行时间短,这阻碍了国产干式真空泵的发展。为了提高干式真空泵的可靠性,本文进行了干式真空泵整机性能及关键部件可靠性测试方法的研究。首先,设计和搭建了基于力控组态软件的整机监测平台,对泵的运行状态及运行过程中的动态参数进行提取,为设计人员提供了基础数据。针对干式真空泵的剐蹭故障,研制了一套基于硬件包络解调原理的电路,成功的提取了故障信号。其次,轴承是干式真空泵的关键旋转部件,对可靠性的影响很大。本文利用振动测试的