【摘 要】
:
电子科技高速发展的今天,人们对集成电子电路的微型化和功能化要求越来越高,然而如今集成电路的特征尺寸已经接近极限,继续缩减尺寸带来高昂的成本,三维集成电子电路的概念应运而生。硅通孔垂直互联(TSV)三维集成具有最大的集成能力和最短的互连长度,使得电子电路的集成度能再上一个台阶。作为TSV成型的关键工艺——二氧化硅绝缘层的制备,在应对电子封装行业实际应用需要的超大深宽比的TSV时,传统的干法工艺成本十
【基金项目】
:
国家重点基础研究发展计划(973计划)课题任务书内容中的子项目——20/14nm集成电路晶圆级三维集成制造的基础研究;
论文部分内容阅读
电子科技高速发展的今天,人们对集成电子电路的微型化和功能化要求越来越高,然而如今集成电路的特征尺寸已经接近极限,继续缩减尺寸带来高昂的成本,三维集成电子电路的概念应运而生。硅通孔垂直互联(TSV)三维集成具有最大的集成能力和最短的互连长度,使得电子电路的集成度能再上一个台阶。作为TSV成型的关键工艺——二氧化硅绝缘层的制备,在应对电子封装行业实际应用需要的超大深宽比的TSV时,传统的干法工艺成本十分高昂并且成品质量不能令人满意。基于此,本课题研究希望借助湿法制备工艺,找出一种成本低,效果好的制备TSV二氧化硅绝缘层的方法,解决这一难题。本课题研究分两部分,第一部分探究了作为二氧化硅绝缘层前驱体,即多孔硅在不同实验条件下的制备。发现前驱体的厚度与腐蚀时间和腐蚀电流成正比关系,这有利于控制后续绝缘层的厚度。同时前驱体多孔硅的微观形貌受腐蚀浓度影响,有两种不同形貌,在稀溶液中为不易完全氧化的“栅栏状”形貌,在浓溶液中为易完全氧化的“海绵状”形貌。第二部分探究了在低电压下电化学氧化的办法将绝缘层前驱体完全氧化为二氧化硅。多孔硅的电化学氧化是由表及里的,氧化速率较大。实验证明获得的绝缘层击穿场强在7.7MV/cm以上,具有应用前景。本课题还初步探索了在真实TSV通孔上制备绝缘层前驱体的工艺,发现前驱体制备对小孔径的硅通孔需要改进工艺提升保型性,才能有更好的应用前景。
其他文献
培养各级各类基础教育、中等职业教育教师是普通高等院校本科师范类专业的目的和任务。《职业技术师范教育专业认证标准》明确了中等职业学校教师培养的维度和要求。文章运用"绿色教育"理念,对全国职业院校技能大赛教学能力比赛案例进行分析,旨在探讨师范认证背景下中等职业教育教师应当具备的核心能力素养,以及如何实现自身的可持续发展,以适应职业教育改革发展和产业转型升级的战略需求。
目的:研究S-D大白鼠三叉神经的解剖,改良S-D大白鼠射频温控热凝术(Radiofrequency thermocoagulation,RFT)手术入路,进而建立成熟的S-D大白鼠射频温控模式动物,并在此基础上,研究不同射频温度下,S-D大鼠半月神经节及三叉神经神经根在细胞结构、降钙素基因相关肽(Calcitonin gene related peptide,CGRP)的合成与运输、神经根中施万细
高压转子系统被称为发动机的核心机,是航空发动机的关键组成部分。为了加工制造以及维护的方便,高压转子一般都是多部件通过螺栓连接的组合结构,装配质量直接影响着高压转子的工作稳定性。掌握装配工艺参数对高压转子动态特性的影响规律有利于提高发动机高压转子的装配质量及效率,而且可为高压转子的装配过程及排故过程提供理论指导。本文以高压转子为研究对象。为了研究装配工艺参数对高压转子动态特性的影响,首先深入研究了针
汽轮机转子-行星齿轮系统是舰船的主动力设备,是最主要的振动噪声源,其振动噪声水平直接影响舰船的隐身性和安全性。转子-行星齿轮结构系统和动力学特性复杂,当前振动特性预测结果与实际相差较大。论文以某船舶汽轮机-行星轮减速器系统为研究对象,探究汽轮机转子与减速器系统耦合动力学建模和求解方法,研究其振动响应特性,为舰船减振降噪设计提供支撑。论文的主要工作如下:将减速器作为支撑边界来处理,建立了汽轮机转子系
我国由于近年来的各类污水急剧增加而导致了随之兴建的城镇污水处理厂越来越多,由于污水处理厂中的二级出水排放量巨大并且二级处理并不能完全消除污水中的各类污染物,甚至一些城镇污水处理厂排放出来的尾水并不达标,这些尾水将对受纳的自然水体造成很大的污染负荷,有加重水体富营养化的威胁,因此必须对城镇污水处理厂的尾水进行深度处理来改善排放的出水水质。城镇污水处理厂尾水的特征是低C/N,高氮磷,因此常规的处理手段
手性2,3-环氧-4-羟基萘醌的结构普遍存在于各类天然产物及合成药物中,例如抗癌效果几乎与紫杉醇(Paclitaxel)相当的天然广谱抗癌候选药物特维醇(Alternol)。目前获得手性2,3-环氧-4-羟基萘醌的方法主要是通过光学拆分的手段,尚无文献报道该类化合物的不对称催化合成方法。通过分析该类化合物的结构特点,同时结合本课题组在羰基不对称催化氢化领域的研究基础,我们设计并开发了内消旋2,3-
超声电机是利用压电材料的逆压电效应进行工作,相对传统电磁电机具有结构简单、定位精度高、噪声污染小、转速低、转矩大、断电自锁和无电磁干扰等优点,适用于仪器仪表、精密定位和航空航天等领域。本文针对现有的超声电机驱动电源存在的不足:速度慢、扩展性不好、驱动板可靠性差、控制不稳定等进行改进,设计了一种基于FPGA的超声电机驱动电源。超声电机驱动电源由控制模块、驱动模块和匹配模块组成,对这三个模块分别进行了
The following study focuses on the impacts of microfinance on entrepreneurship in Senegal.Microfinance was introduced into the region as a strategy to alleviate poverty and has provided countless peop
“硅替代药物”即现有药物分子中的某个或某些碳原子被硅原子替代后获得的含硅类似物。与碳模板底物相比,含硅药物往往表现出更优越的生物活性和理化性质,具有药效好、选择性高、毒副作用小等特性。因此,硅替代药物为新药设计提供了一条有潜力的新思路。其中,手性α-氨基硅类化合物更是由于可作为天然α-氨基酸的替代物而在药物化学和有机合成中被广泛研究。目前已报道的关于手性α-氨基硅的合成方法主要包括Cu-催化硅亲核
钙钛矿材料结构为AMX3,因其独特的光、电性能,以及结构的容纳性和可剪裁性而被广泛应用在光学材料和半导体材料中。有机-无机杂化钙钛矿卤化物(RMX3)和碱土金属-过渡金属氧化物钙钛矿(ABO3)是立方钙钛矿(AMX3)的两种衍生物。前者因其A位的有机基团而具有可调控的光学性能,而B位的无机离子则使材料具备良好的热稳定性、机械强度以及高载荷子迁移率,因而被广泛应用在钙钛矿太阳能电池(perovski