近年来,研究人员发现纳米裂纹可以广泛用于制作应变传感器,纳米裂纹应变传感器通常由带有纳米裂纹的导电层和柔性可拉伸的聚合物层组成。纳米裂纹应变传感器的性能参数包括灵敏度、量程、响应时间和迟滞等。纳米裂纹图案,如裂纹长度对纳米裂纹应变传感器的性能起关键作用,因此完成关于裂纹长度对纳米裂纹应变传感器性能影响的探究是十分必要的。为此,本文利用一种能够控制柔性基底表面金属薄膜生成纳米裂纹的方法制作出不同长度的纳米裂纹。首先,在聚二甲基硅氧烷（polydimethylsiloxane,PDMS）基底表面先后溅射一层铬薄膜和金薄膜。然后,在金薄膜表面旋涂一层光刻胶,再对光刻胶进行图形化,图形化后金薄膜会有部分区域无光刻胶保护。最后,将样片沿一定曲率半径的钢管进行弯曲,在金属薄膜上制作出裂纹长度为50μm、500μm和5000μm的纳米裂纹。在制作纳米裂纹过程中需要确定弯曲曲率半径和金薄膜长度,根据实验结果确定弯曲曲率半径6 mm,金薄膜长度1 mm。将利用上述方法制作的纳米裂纹样片通过连线工艺制成纳米裂纹应变传感器,并对其性能测试。裂纹长度为50μm的纳米裂纹应变传感器由于量程太小,后续性能测试过程难以采集其电阻信号。因此,最后对裂纹长度为500μm和5000μm的纳米裂纹应变传感器进行性能测试。结果表明裂纹长度为500μm、5000μm的纳米裂纹应变传感器的量程分别为0-0.04%、0-0.33%,满量程时的应变灵敏系数分别为2100、3933,但是在应变为0.04%时,前者的应变灵敏系数大于后者。基于重叠模型和隧穿模型解释了裂纹长度与纳米裂纹应变传感器灵敏度之间的关系。结果表明裂纹长度为500μm的纳米裂纹应变传感器在应变范围为0-0.01%时相对电阻变化（△R/R0）符合重叠模型;在应变范围为0.02%-0.04%时,△R/R0符合隧穿模型;在应变范围为0.01%-0.02%时,△R/R0由重叠模型和隧穿模型共同决定。裂纹长度为5000μm的纳米裂纹应变传感器在应变范围为0-0.1%时△R/R0符合重叠模型;在应变范围为0.16%-0.33%时,△R/R0符合隧穿模型;在应变范围为0.1%-0.16%时,△R/R0由重叠模型和隧穿模型共同决定。在应变为0.04%时,裂纹长度为500μm传感器的（35）R/R0与应变成正比,裂纹长度为5000μm传感器的（35）R/R0与应变成指数关系。因此,根据应变灵敏系数计算公式可得前者的应变灵敏系数要大于后者。