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大面积双面YBCO高温超导薄膜具有优异的电学性能和微波性能,能够进一步提高微波无源器件的特性,因此受到了科学与工业界的广泛重视。MgO基片具有各向同性的介电常数,而且介质损耗很低,非常适用于微波器件的制作。但是MgO与YBCO晶格失配度较大,并且MgO在空气中容易潮解,这为YBCO薄膜的外延生长带来了困难。本论文针对这些难点,对MgO基片上YBCO薄膜的生长展开了研究,具体工作内容如下:1.研究MgO基片上YBCO薄膜的溅射沉积工艺参数(如基片温度,沉积气氛等)对薄膜结构、形