本文通过先进的计算机辅助工程软件(CAD／CAE)探讨了柔性铰链参数的设计，从统计学原理运用正交试验表和回归理论导出了柔性铰链设计参数的数学模型。还运用人工神经网络的方法建立了精度更高的模型并且验证了回归分析的数学模型。 本文对多自由度微位移工作台进行了系统仿真的研究，分析了微位移工作台静、动态特性。应用ANSYS软件建立了工作台静、动态特性的分析模型，并分析了工作台的位移、应力以及振动的固有频率和振型，而且还应用正交试验表安排参数全面分析了结构参数对微位移工作台的静、动态特性的影响，并用逐步回归分析方法对数值计算结果进行回归，获得了微动工作台的最优回归方程，同时建立了人工神经网络模型并对回归模型进行了验证。 为了对多自由度微位移工作台仿真结果进行实验验证，我们采用电火花线切割加工方法加工了样机，并研制了一套力与位移的测试装置，测试结果验证了仿真结果，同时也说明这套测试装置是可行的。