液体的微量传输在微量药物注射、化学检测、生物微分析等领域上有广泛的应用,研究日愈深入。本文研究一种新颖的电磁力驱动的PDMS膜片泵,具有体积小,制作简单,控制精度高的特点。它由驱动线圈、嵌有小永磁体的PDMS膜片及阀体构成。永磁体在通电线圈产生的磁场中受到电磁力作用,驱动膜片运动,使膜腔产生体积变化,并在阀作用下引起液体单向流动。文中首先全面地概述了当前不同种类的微泵的工作原理及发展情况;重点推导和分析了磁场大小、电磁力大小、膜片的受力与变形、通电线圈产生的电磁力作用下的膜片变形量等模型,最终建立了完整的电磁力驱动微型膜片泵的理论控制模型。通过MATLAB仿真了电流与磁场强度关系、膜片变形与其回复力的关系;根据膜片泵的理论控制模型仿真了不同的螺线管与膜片泵结构数据对泵膜片变形的影响,在理论上优化了实体模型结构。从理论上介绍了微型泵的工作频率、每搏输出流量的计算公式,并推导了液体的瞬时响应模型。设计了微型膜片泵,详细的介绍了其制作过程,包括关键步骤:PDMS的制备与固化、嵌入微型永磁体的PDMS驱动膜片的制作、PMMA与PDMS膜片做成微阀的集成等。完成了对该膜片泵的实验测试,针对电流与液体流量,脉冲与液体流速进行了实验测试,并检测其输出负压大小。结果表明该膜片泵能进行微升体积的液体泵送,及其在控制上的可行性。