钛酸铋钠钾无铅铁电薄膜的制备及性能研究

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近年来,随着微电子技术的发展和高度集成化的趋势,铁电薄膜的制备、结构、性能及其应用已成为国际上新材料研究十分活跃的领域。同时由于现在占据主导地位的铁电材料多数含铅量较大,给环境和人类生活带来了很大的影响。为了保护地球和人类的生存空间,防止环境污染,实现可持续发展的目标,世界各国的科技工作者正在抓紧研究少铅或无铅的压电、铁电材料。其中,具有A位复合钙钛矿结构的钛酸铋钠(Na0.5Bi0.5TiO3,简称NBT)是近年研究的热门无铅材料之一。钛酸铋钠具有良好的铁电性能,居里温度为320℃,还具有突出的压
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