三维AMR传感器及信号处理电路的初步研究

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由于各向异性磁电阻(AMR)传感器能够精确测量地磁场的方位,因此它在军事领域的精确定向以及民用领域的航空、航天、航海、机器人、车辆定位等方面具有非常广阔的应用前景。目前,国外Honeywell、Philips等公司各自推出了用于方位测量的三维AMR传感器,而国内还未掌握三维AMR传感器的核心技术。在此背景前提下,结合国内某些领域对方位精确测量的迫切需求,本文将开展用于方位测量的AMR传感器及电路研究。 论文首先设计了两种AMR传感器的结构,分别是一维AMR传感器和二维AMR传感器,用于组成三维AMR传感器。同时,设计了补偿线圈以及复位/置位线圈,分别用于AMR传感器的温度补偿以及抗电磁干扰,以提高AMR传感器的测量精度。随后,采用ANSYS有限元分析软件对补偿线圈和复位/置位线圈的电磁学性能进行了仿真,为其产生均匀分布的磁场提供理论依据。为进一步提高AMR传感器的性能,在AMR磁电阻的表面还设计了Barber电极,并采用ANSYS有限元分析软件对其功能进行了仿真,验证了设计的正确性。在此基础上,采用L-Edit软件完成了一维AMR传感器、二维AMR传感器、补偿线圈、复位/置位线圈的版图设计。 在AMR传感器的工艺制作方面,为了减小AMR传感器中磁性薄膜的应力,根据本实验室溅射镀膜系统的特点,首先设计了能够产生均匀诱导磁场的基片底座。随后,采用磁控溅射方法制备了磁性薄膜。在此基础上,采用Lift-off工艺制作了AMR磁电阻,进而完成了两维AMR传感器的制作,并利用四探针法测试了AMR传感器的性能。实验结果表明,在饱和磁场情况下,其电阻相对变化率为0.87%。论文给出了进一步提高AMR传感器灵敏度的方法。 在AMR传感器的信号处理电路方面,设计了能够同时检测三维AMR传感器的信号处理电路,包括信号放大电路、数据采集电路、复位/置位电路、串口通信电路等,并采用Orcad软件对复位/置位电路进行了仿真,在此基础上完成了电路系统的研制。为了验证其功能,用该电路系统对商用的标准AMR传感器的输出信号进行了测试,结果表明,MR传感器在0~60°范围内转动时,该电路系统能够分辨精度达到0.9°,能够达到本项研究中对AMR传感器输出信号进行处理的要求。另外,在数据处理方面,通过软件编程来消除AMR传感器的零点漂移,以进一步提高AMR传感器的精度。
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