【摘 要】
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由于交换偏置效应可以很好的改善磁存储器件中读出头的性能，所以今年来掀起了研究热潮。但是大部分的研究都是基于平面膜上的，很少一部分是基于曲面膜上的。本文在胶体球自组装的基础上沉积磁性膜，通过改变样品的沉积膜厚度和胶体球尺寸来实现对交换偏置效应的控制。主要包括两方面的内容：一是研究了铁磁/反铁磁双层膜结构下，影响交换偏置效应的因素。二是，与单层膜对比，研究了铁磁/反铁磁多层膜结构下，影响交换偏置效应的
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由于交换偏置效应可以很好的改善磁存储器件中读出头的性能，所以今年来掀起了研究热潮。但是大部分的研究都是基于平面膜上的，很少一部分是基于曲面膜上的。本文在胶体球自组装的基础上沉积磁性膜，通过改变样品的沉积膜厚度和胶体球尺寸来实现对交换偏置效应的控制。主要包括两方面的内容：一是研究了铁磁/反铁磁双层膜结构下，影响交换偏置效应的因素。二是，与单层膜对比，研究了铁磁/反铁磁多层膜结构下，影响交换偏置效应的因素。得到的主要结果如下：一．铁磁/反铁磁双层膜结构下，影响交换偏置效应的因素1.在FeNi/NiO和Co/CoO双层膜体系中，由于曲面衬底的特殊结构导致了磁性膜厚度，晶粒尺寸等方面的变化，从而使得相同条件下曲面膜样品的交换偏置场明显大于平面膜的。2.通过后继氧化处理方法，在200nm胶体球模板上制备了Co/CoO双层膜。随着Co层厚度的增加，交换偏置场逐渐变小。3.利用磁控溅射技术，在不同尺寸的胶体球模板上沉积相同厚度的Co/CoO双层膜样品。随着胶体球尺寸的增加，交换偏置场呈现下降趋势。实验结果与其他研究小组的研究结果相同。二.铁磁/反铁磁多层膜结构下，影响交换偏置效应的因素1.以200nm胶体球模板为掩模，制备了Co/CoO平面，[Co/CoO]5多层平面和曲面膜。研究表明，由于界面增加导致了界面粗糙度的变大和结构缺陷，使得[Co/CoO]5多层曲面膜的交换偏置场提高显著。2.随着CoO子层厚度的增加，[Co/CoO]5多层曲面膜的交换偏置场先增加后减小。研究表明，CoO子层厚度的变化，样品的内部结构发生了改变。
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