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随着微电感元件向微型化、高频化、集成化和高性能化发展,对其制备技术提出了更多、更严的要求。传统的方法因存在加工灵活性低、周期长和成本高等诸多不足,迫使众多科研工作者致力于新方法和新技术的研究。本文在国家自然科学基金和国家“863”计划的资助下,提出基于匀胶的激光微熔覆制备微电感的新技术,成功地制备出空芯矩形微电感、空芯栅形微电感、磁芯矩形微电感和磁芯栅形微电感。通过对该技术深入细致的研究,得到如下主要结果:深入研究未干燥的膜厚随匀胶工艺参数的变化关系和膜厚分布计算模型,系统研究激光微熔覆微