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热光伏电池的设想是在20世纪60年代提出的,但由于当时科研水平的限制直到90年代中期才有较大的进展。热光伏系统由热辐射器、光谱控制器、热光伏电池组件、热回收器和辅助组件组成。光谱控制器也即光学滤波器,用来实现热辐射与热光伏电池之间的光学匹配,主要作用是透过所需波段红外光,并将热光伏电池不能转换成电能的红外光反射回热辐射器重新利用。光谱控制器直接影响到热光伏系统的转换效率,因此对其工艺技术进行研究就显得尤为重要。本文主要研究光谱控制器的工艺技术,即镀制光谱控制器表面增透膜系的工艺技术研究。本