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随着MEMS产品的多样化和功能结构的复杂化,微机电系统已成为多个学科相互融合的系统,其功能的实现是多个能量域相互耦合、综合作用的结果,这样,系统级建模与仿真越来越依赖于器件级宏模型的准确性。针对强耦合、非线性的MEMS器件,如何有效实现在多能量域耦合分析的基础上提取宏模型,完成系统级多信号仿真分析,成为当前MEMS设计领域的重要课题。本文针对典型的MEMS器件,研究了三种不同适应条件下的半解析宏建模方法,即在原MEMS器件(或子系统)数值计算基础上,通过一定的降阶算法得到解析宏模型。论文结合扭转微镜