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电容式微加工超声换能器阵列设计与测试

来源 :天津大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bendanlxq

【摘 要】

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【作 者】

：

郑冠儒 

【出 处】

：

天津大学

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

电容式微加工超声换能器 微机电系统 相控阵 测试系统 

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