声表面波滤波器件研究

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随着5G时代的到来,终端产品需要支持的频段越来越多,因此滤波器的需求量越来越大。声表面波(SAW)滤波器广泛应用于各类通讯系统中,具有体积小、重量轻、抗干扰能力强等特点。本文着重于完成声表面波技术的工业化产品设计,在COM模型建模、声表滤波器、声表双工器方面进行了研究与创新。具体工作如下:1、阐述COM模型的建模方法,将其应用于ADS平台并封装为PDK模型库。对COM参数进行拓展,增强模型在宽频带范围的表征能力,最后将COM模型仿真结果与FEM/BEM计算结果、实测结果进行对比,得到了较好的一致性。2、利用上述PDK模型库,设计了两种宽带SAW滤波器。第一种方法为,在DMS滤波器的IDT之间设置反射栅,得到一个新谐振点,发现相位适用于通带合成。将两个通带不重叠的DMS滤波器并联,在Normal SAW工艺、42°Y-X Li Ta O3压电衬底上,实现了中心频率785.5MHz,-3d B相对带宽为8.27%的宽带滤波器。滤波器版图尺寸为1.13×0.85mm~2。第二种方法为,将DMS滤波器的IDT的pitchsize分为多种pitchsize,分化了栅格谐振频率,从而支撑宽带。在与上述相同工艺条件下,实现了Band 20+28 Rx滤波器,通带范围为758MHz~821MHz,边缘损耗小于2.4d B,带外抑制达到-40d B。滤波器版图尺寸为0.87×0.64mm~2。3、设计了一种高性能Band-1双工器,结合了LC谐振与抑制谐振器,实现了Rx频段-58d B的隔离度,边缘损耗2d B以内。双工器版图尺寸为1.5×1.1mm~2。
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