等离子体射流放电技术具有广阔应用空间,已经受到越来越多的关注。其优势在于可以将放电等离子体产生的化学活性成分“吹出”放电区域,可以解决处理工件大小受放电电极间隙限制的工艺瓶颈,同时放电区与作用区的分离可以减弱工件特性对放电稳定性的影响。射流放电技术被广泛应用在医疗、环境等众多领域。在这些应用场合中不仅要求放电稳定,而且需要产生多种化学活性成分满足不同应用需要。含氧气体中的射流放电是产生活性氧物种的常用方案,但是放电在产生诸多氧物种的同时也会不可避免地产生臭氧,而臭氧对于有些应用场合是不利的,例如：医疗领域。本文研究等离子体射流放电的臭氧产生过程,探索含氧混合气体中臭氧产生行为的规律性。分别以Ar、He为载气,通入一定比例的O2,构成含氧混合气体。利用三电极放电电极结构,施加千赫兹的交流电压,探究含氧混合气体中产生臭氧的行为。通过测量放电电压电流数据和放电照片,分离出放电传导电流,进行电学诊断。研究了电流脉冲峰值,电流脉冲宽度、电流脉冲个数、电流脉冲峰值位置相对电压峰值的超前量随放电参量的变化规律。探讨了多个参量如气体种类、电压峰值、电源频率、放电气压、氧气含量、放电功率,电极间隙对臭氧浓度的影响和相关规律,结合机理分析,证实了射流放电中臭氧产生和分解的一些动力学行为。结果表明,射流放电中臭氧的形成是一个动态过程,其合成和分解是同时发生,放电气体中臭氧浓度是两种动力学过程平衡的结果,放电参量对于臭氧形成都具有双向作用,因此存在峰值条件。为了提高射流放电强度,对放电结构进行了改造,实现了直流增强型射流放电。放电方案是：将直流增强电压加在中间驱动电极上,在环形悬浮电极上施加交流驱动电压,接地电极保持。研究了在此放电结构下,Ar/O2、He/O2混合气体中臭氧浓度随直流正偏压、直流负偏压及施加直流偏压位置的变化,结果表明：施加直流电压之后,射流放电体积和放电功率都有增强,达到了增强放电电子密度的目标。与此同时,臭氧的浓度可以维持几乎不升高。