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近年来，微细加工技术快速发展使得产品的导向趋于微型化，出现各种微型机械和MEMS器件。这些微型机械的几何特征尺寸在数十微米至数毫米之间、尺寸精度在数十纳米至数百纳米。受限于测球尺寸和测头系统的性能，传统三坐标测量机无法满足这些器件的精密测量要求，虽然原子力显微镜（AFM）和扫描隧道显微镜（STM）在纳米尺度上可以用来进行微器件、微结构的表面形貌检测，但是测量范围受到很大的限制，因此发展体积小、精度高的微纳米级三坐标测量机技术成为当务之急。本系统在原有的石英音叉扫描探针显微镜系统的基础上进行改进，实现