论文部分内容阅读
在超精密加工制造领域，外部环境的振动不可避免地会影响加工设备的工作性能,传统的被动隔振系统无法满足加工设备不断提高的精度要求。超精密隔振系统通过采用主动隔振与被动隔振相结合的方式能更好地满足超精密设备对低频和中高频隔振的需求。本文从主动减振的原理出发，设计了一种采用被动隔振与主动隔振相结合的主动减振器，并通过采用有限元计算和试验的方法对核心元件做了进一步的研究分析。对主动减振器的设计分为被动隔振和主动隔振两个部分。被动隔振部分，通过对气浮刚度的理论推导，设计的非线性单腔室空气弹簧能够实现垂直