【摘 要】
：
电镀铜填孔技术由于其可靠性高、设计灵活而被广泛应用于制作高密度互连印制电路板、封装基板中。目前产业应用过程中最关注填孔的缺陷和效率问题,其中高纵横比盲孔的无缺陷填充是亟待解决的技术问题。本工作重点研究孔深约为180μm、孔径为110μm的高纵横盲孔,并利用电化学实验、多物理场耦合数值模拟、电镀实验解决了盲孔的填铜问题,具体内容如下:（1）高纵横比盲孔添加剂的电化学行为研究。乙二醇和丙二醇嵌段共聚物
论文部分内容阅读
电镀铜填孔技术由于其可靠性高、设计灵活而被广泛应用于制作高密度互连印制电路板、封装基板中。目前产业应用过程中最关注填孔的缺陷和效率问题,其中高纵横比盲孔的无缺陷填充是亟待解决的技术问题。本工作重点研究孔深约为180μm、孔径为110μm的高纵横盲孔,并利用电化学实验、多物理场耦合数值模拟、电镀实验解决了盲孔的填铜问题,具体内容如下:（1）高纵横比盲孔添加剂的电化学行为研究。乙二醇和丙二醇嵌段共聚物（EO/PO）在电极表面形成饱和吸附层,对铜沉积具有抑制作用。聚二硫二丙烷磺酸钠（SPS）对铜沉积具有加速作用,并研究了加速剂浓度与电极表面覆盖度、交换电流密度、以及阴极塔菲尔斜率之间的关系。含氮杂环化合物对铜沉积有抑制作用,其电化学行为和对流强度相关,并获得了浓度与电极电位的关系。（2）高纵横盲孔电镀填铜模型及机理研究。利用电化学测试的数据建立盲孔填充模型,并选择1.8:1.1的高纵横比盲孔进行填孔过程的模拟,预测了高纵横比盲孔填铜存在空洞风险;进一步研究了硫酸铜浓度对盲孔中铜离子分布的影响,镀液中铜离子浓度越大,扩散到盲孔底部的铜离子数量越多;研究气流量对盲孔内溶液的流动速度的影响,气流量越大,强制对流对盲孔内部的传质影响越大;还研究了不同纵横比的盲孔内铜离子分布,发现纵横比越大,铜离子浓度梯度分布越大。最后采用哈林槽电镀实验研究了不同纵横比盲孔的实际填充效果,结果表明纵横比为1:1.1、1.4:1.1的盲孔能实现盲孔的无空洞填充,而纵横比为1.8:1.1的盲孔填充中出现空洞,空洞率为100%。通过进一步优化硫酸铜浓度、气流量、镀液温度等影响因素来改善高纵横比盲孔填充效果,从而将盲孔的空洞率降低至8%。（3）加速剂局部预吸附电镀填铜技术研究。为了实现高纵横比盲孔的无空洞填充,引入了加速剂局部预吸附技术,通过调控硫酸铜浓度、气流量、温度等参数来改善高纵横比盲孔的填充效果。研究表明该技术不仅可以缩短电镀填孔时间,还可以降低盲孔产生空洞的风险。结果表明当电镀温度为28℃和31℃时,高纵横比盲孔能够实现无空洞填充。
其他文献
目的:口干是鼻咽癌患者放疗后常见副作用之一,严重影响患者生活质量。早期预测放疗导致的口干症非常重要,但目前与此相关的多模态影像组学研究相对较少。本文旨在建立鼻咽癌患者放疗导致口干的早期预测模型,指导临床实践。方法:自2020年5月至2021年8月前瞻性纳入我院经病理证实的鼻咽癌患者。所有患者均接受根治性放化疗。分别在放疗前、放疗第5次(5th)、第15次(15th)和结束时行磁共振成像和扩散加权成
中国印刷品产业有着久远的发展史,其国内划分产业繁多,一般包括出版物业、包装材料业、塑料制品业、纸制品业、电子产品业等,其印制产品一般应用于民众经济社会日常生活的各大应用领域。伴随着我国经济社会水平的可持续快速发展进步与综合国力提高,其印刷的产业规模也一直在持续不断地扩大,并逐步形成了一种以产品知识化、信息化为其主要服务内容之一的高效率并具有能直接影响其全球竞争力特征的工业经济系统。印刷产业发展虽愈
公交车辆是城市居民重要的出行工具之一,公交运行安全性关系到城市交通形象和城市居民的生命财产安。近年来,我国发生了多起严重的公交车辆安全事故,造成了巨大的人员、财产损失。众多研究表明,驾驶员是公交安全事故的最重要影响因素,特别是驾驶员的异常变速行为容易形成驾驶风险隐患,进而引发公交安全事故。因此,如何提高对公交驾驶员异常变速行为的动态辨识水平,构建公交驾驶员风险评价指标,最终形成面向公交运行安全的驾
随着网络的普及和移动化,社交网络在人们的社交生活中占有越来越大的比例,由此人们可以在社交网站上获取各类新闻消息。然而与此同时也出现了许多异常用户经常发布各种仇恨言论来对个体或群体进行贬低,并且这些仇恨言论造成不利影响。为了促进社会更加和平、包容和公正,维护社交网络平台的健康性,通过仇恨言论识别方法,发现社交网络中的仇恨言论具有重要意义。社交网络中的仇恨言论识别任务相较于其他文本分类任务而言具有以下
随着环境污染和能源枯竭等生态问题的日益严重,可持续发展已成为世界各国共同的关注焦点。如今,可持续发展内涵日趋丰富,不再仅涉及生态层面,且已逐渐渗入经济环境中,演变为企业可持续发展。即要求企业在发展过程中应追求经济、环境和社会效益的协调发展。煤炭企业属于能源依赖型和环境消耗型企业,其本身存在“高开采、高能耗、高污染、高排放”等特征,这显然与可持续发展理念一定程度上存在冲突。因此,运用相关理论,对煤炭
志丹县位于延安市西北部,是"群众领袖、民族英雄"刘志丹将军的故乡,被誉为中国革命的"红都"。志丹县,史称保安郡、保安州、保安县。志丹县历史悠久,人才辈出,文化源远流长。早在新石器时代,人类的祖先就在这块土地上繁衍生息,生活斗争。1936年为纪念民族英雄刘志丹将军而命名为志丹县。
交通标志是保障城市交通畅通运行的基础。交通标志识别（Traffic Sign Recognition,TSR）作为智能交通系统中的重要一环,通过自动识别交通标志来提醒驾驶员规范驾驶或反馈给其它智能交通系统,能够降低交通事故发生概率、提升交通运行效率,在交通辅助安全、无人驾驶等领域有良好的应用前景,对于数字城市建设具有重要意义。深度学习（Deep Learning）提供一种先进、智能的目标检测识别方
[目的]通过对现代文献中推拿治疗小儿厌食症的推拿处方进行分析,探求推拿治疗小儿厌食症的处方配伍规律,归纳分析得出推拿治疗小儿厌食症的核心处方,为推拿治疗小儿厌食症的规律性研究寻找突破口,便于基层一线推广使用。[方法]搜集整理现代期刊文献中有关推拿疗法治疗小儿厌食症的文献,归纳文献的基本信息,建立原始数据库。应用频数分析、IBM SPSS Modeler Subscription中的Apriori算