【摘 要】
：
通过对引出的平行离子束流外加可控磁场,可以实现离子束流偏转。该方法实现IV型凹面光栅沿曲面不同闪耀角离子束刻蚀,能够获得高衍射效率的IV型凹面光栅。经过理论设计计算出
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【基金项目】
：
“863”重大项目(2010AA1221091001);国家重大科研装备开发专项(2011YQ120023);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ201005);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013)
论文部分内容阅读
通过对引出的平行离子束流外加可控磁场,可以实现离子束流偏转。该方法实现IV型凹面光栅沿曲面不同闪耀角离子束刻蚀,能够获得高衍射效率的IV型凹面光栅。经过理论设计计算出理想的IV型凹面光栅闪耀角,利用全息曝光-弯转离子束刻蚀工艺制作出尺寸45mm×40mm,波长250nm处衍射效率达67%,入臂200mm,出臂188mm,曲率半径224mm的IV型凹面光栅。同时,利用平行离子束流制作了相同参数的IV型凹面光栅,其250nm处的衍射效率为30%。实验结果表明,利用弯转离子束流制作IV型凹面光栅的方法简单易行,并能够精确控制离子束流实现高衍射效率的IV型凹面光栅制作。
其他文献
“百病皆由痰作祟”,诸多疾病的发生均与“痰”密切相关,现代基础研究及临床研究均提示中医的痰证形成机制可能与血脂、血糖代谢、血液流变学、基因表达等因素的异常改变有关
目的:研究阳春砂仁水溶性成分.方法:各种色谱法分离纯化,光谱方法鉴定结构.结果:从阳春砂仁水溶性成分中分得槲皮素的2种黄酮苷,槲皮苷和异槲皮苷.结论:2个化合物均为首次从
根据巴彦淖尔市政协主席会议安排部署,市政协社会法制委员会组织部分政协委员和市住建委、市公安局负责人在市政协副主席张喜民的带领下,于2011年11月9日至10日深入到杭锦后
通过(1)超声加热法替代目前的回流加热法,提高皂化反应速度将皂化时间从现有的约1h缩短至10min;(2)设计并研制专用SPE小柱,一次性快速去除不皂化物溶液中残余的水和皂,同时将
利用2007—2013年广西南宁市城区国家气象观测站的酸雨观测资料和其他气象资料,分析了南宁市酸雨变化特征,研究不同气象条件对酸雨的影响。结果表明：7 a来662次降水样本中酸雨
针对法律社会与经济法的产生进行简单论述,探究民法社会利益与经济法社会本位的思想,且基于混合经济时代的民法与经济法的特征加以分析,以期能够为混合经济时代下社会的发展
在房屋建筑结构的设计中,抗震设计关系着地震发生时建筑的损坏情况,与人们的生命安全息息相关,在抗震设计中,要尽量增强建筑结构的延性和变形能力,从而增强建筑的抗震能力。
西方古典美学指的是从古希腊到近代的美学，其开端的代表是柏拉图，其成“学”的代表是鲍姆加登．其顶峰的代表是黑格尔。
声乐艺术是一种综合性表演艺术。嗓音、歌唱技巧,是声乐艺术的基础。声乐艺术注重情感表达。肢体语言是一种重要的表达声乐艺术感情的方式。声乐艺术是二次创作艺术。音响效
本文采用侧链含有双键的三元乙丙橡胶(EPDM)为反应物,考察其在路易斯酸作用下交联及与聚苯乙烯(PS)接枝反应的特点和机理；并利用Friedel-Crafts烷基化反应原位增容PS/EPDM共混