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进行了细晶ZrO2陶瓷二维超声振动磨削表面微观特征试验研究．应用原子力显微镜和扫描电镜分析了磨削表面微观特性．试验结果表明：同样磨削条件下，二维超声振动磨削表面峰谷较均匀，磨削表面均匀一致性优于普通磨削表面，二维超声振动磨削更易于实现塑性域磨削．分析表明：二维超声振动磨削单颗磨粒的切削运动轨迹状态和单颗磨粒与工件的接触状态是影响二维超声振动磨削表面质量的主要因素．磨削表面粗糙度实验表明：相同磨削条件下，材料的力学性能也是影响陶瓷磨削表面质量的重要因素之一．