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  5. 氮离子注入法合成CNx膜的化学键表征

氮离子注入法合成CNx膜的化学键表征

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tangwu2007
【摘 要】
：
采用N离子注入金刚石膜和热解石墨方法合成了CNx膜,用Raman光谱和XPS谱对合成薄膜中C、N的化学键合状态进行了研究.通过与Raman光谱的比较,我们对合成样品XPS谱中N1s的化学键
【作 者】
：
曹培江 朱德亮 马晓翠 潘跃武 
【机 构】
：
深圳大学理学院,哈尔滨工业大学深圳研究生院
【出 处】
：
真空科学与技术学报
【发表日期】
：
2005年5期
【关键词】
：
N离子注入 金刚石 化学键 Nitrogen ion implantation  Diamond  Chemical bond 
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采用N离子注入金刚石膜和热解石墨方法合成了CNx膜,用Raman光谱和XPS谱对合成薄膜中C、N的化学键合状态进行了研究.通过与Raman光谱的比较,我们对合成样品XPS谱中N1s的化学键合状态作出如下归属:≈400.0 eV属于sp2 C-N键;≈398.5 eV则属于sp3 C-N键.结果显示:碳原子、氮原子间的化学键合状态,明显地依赖于衬底材料及注入N离子的能量.
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