论文部分内容阅读
通过对单频激光干涉仪焦平面上等倾干涉条纹的能量分析和环境因素带来的随机噪声分析，研制一种自适应系统。该系统采用了四阶累积量计算法、信号滤波和信号直流分量提取算法。实验结果表明，可有效处理噪声信号，提取信号直流分量，从而提高直流分量跟踪精度。将该系统安装在单频激光于涉仪上，在非实验室环境条件下其线性测长准确度可达0．9×10-6L，测量重复性为0．09μm。