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目前固定薄膜电池的应用越来越广泛，为了研究新型固定薄膜电池的性能，本文以Fe203和FeF3为靶材制作固定薄膜电池，采用电子显微镜对薄膜进行扫描表征，采用三电极系统对薄膜进行电化学测量，采用SEM、XPS、TEM来检测充放电过程中的电极结构，结果只有首次放电时存在30％左右的容量损失，电位区间在0．01—4．0V之间时可逆性良好．能够达到630mAh／g的可逆放电容量，证实Fe203和FeF3可以作为新型固态薄膜电池的靶材。所制作的电池性能良好．