Gauss权重法求解半导体电磁测量中的一个对偶积分方程组

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对一个半导体电磁测量中的对偶积分方程组运用Schlom ilch 定理及适当积分变换,使其降维和退耦.首次设计振荡集中抑制法导出该积分核的快收敛表式,从而成功地实现Gauss 权重法对积分方程的快速精密求解,并获得了校正曲线的精密计算.强调了发挥Gauss权重法在求解积分方程中优势的关键在于获得计算非初等积分核的适当表式 Applying Schlom ilch’s theorem and appropriate integral transform to the dual integral equations in a semiconductor electromagnetic measurement, the dimension and decoupling are reduced. For the first time, the method of concentrated oscillation suppression is used to derive the fast convergence of the integral kernel, so that the Gauss weight method can be used to quickly and accurately solve the integral equation. The precision calculation of the calibration curve is obtained. Emphasize that the key to using Gauss’s weight method in solving the integral equation is to obtain the appropriate formula for calculating the non-primary integral kernel
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