【摘 要】
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选用乙醇铌、乙酸钾、乙酸钠为原料,通过金属有机盐热分解法制备了Na0.5K0.5NbO3（NKN）无铅压电薄膜。研究了不同退火温度对NKN薄膜的晶体结构和形貌的影响。结果表明：当退火温度
【机 构】
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长安大学材料科学与工程学院,西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划资助项目（No.2008CB617610）, 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目（No.CHD2009JC010）
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选用乙醇铌、乙酸钾、乙酸钠为原料,通过金属有机盐热分解法制备了Na0.5K0.5NbO3（NKN）无铅压电薄膜。研究了不同退火温度对NKN薄膜的晶体结构和形貌的影响。结果表明：当退火温度低于500℃时,所制NKN薄膜为无定形结构。650℃制备的NKN薄膜具有（100）晶面生长的择优取向;该薄膜的表面致密,颗粒尺寸分布均匀,10kHz的相对介电常数为258,介电损耗为0.05。该薄膜具有铁电体典型的电滞回线,剩余极化强度（Pr）和矫顽场强（EC）分别为3.45×10–6C/cm2和160×
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