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叙述了双端调谐音叉石英振梁式重力传感器的结构和工作原理.根据石英谐振器的谐振频率公式和石英晶体的压电效应原理,确定了石英谐振器的主要结构尺寸和电极设置.应用有限元法计算了该谐振器的谐振频率,显示了一阶模态振型,这为设计不同用途的石英振梁式加速度传感器提供了理论依据.
双端调谐音叉石英谐振器的结构设计方法研究
【摘 要】
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叙述了双端调谐音叉石英振梁式重力传感器的结构和工作原理.根据石英谐振器的谐振频率公式和石英晶体的压电效应原理,确定了石英谐振器的主要结构尺寸和电极设置.应用有限元
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2003年10期
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