【摘 要】
：
采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/LaAlO3（100）衬底上制备了BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2系（BNST）薄膜。研究了退火温度对BNST薄膜结构、表面形貌和介电性能的影响。X线衍射仪（XRD）分析表明,随着
【机 构】
：
电子科技大学薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
：
广东省教育部产学研结合重大专项基金资助项目（2009A090100003）
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/LaAlO3（100）衬底上制备了BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2系（BNST）薄膜。研究了退火温度对BNST薄膜结构、表面形貌和介电性能的影响。X线衍射仪（XRD）分析表明,随着退火温度的升高,晶粒逐渐长大。经850℃退火处理的BNST薄膜具有很好的结晶质量。原子力显微镜（AFM）分析表明,在一定范围内提高退火温度所制备的薄膜晶粒致密、大小均匀。LCR测试分析表明,在测试频率为100kHz时,随着退火温度的升高,BNST薄膜介电常数有所增加,介电损耗则先降低,后增
其他文献
采用传统的固相烧结工艺制备3种不同摩尔比的（1-x）BiFeO3-xCoFe2O4（简称（1-x）BFO-xCFO,x为摩尔分数,且x=0.1,0.3,0.5）复合陶瓷样品,并分析了其在室温和变温下的介电性能。研究结果
目的探讨电话随访对少数民族地区初产妇母乳喂养率的影响。方法将216例地处边远山区的隆林县少数民族初产妇随机分为随访组和对照组,两组住院期间常规给予母乳喂养指导,随访
目的探讨筛选血型抗体的最佳方法及意义。方法 11例阳性标本分别用盐水法、凝聚胺法（Polybrene）、抗人球蛋白法、微柱凝胶免疫法进行抗体筛选及特异性鉴定。结果除盐水法外,其
采用传统电子陶瓷工艺制备（ZnNb2O6—Zn3Nb2O8）-Sb2O3（ZZS）陶瓷，研究了Sb2O3含量对ZZS陶瓷结构及介电性能的影响规律。结果表明，Sb2O3的加入促进了陶瓷的烧结，陶瓷中除ZnNb2O6和Zn3N
采用直流反应磁控溅射法在Si（111）基片上制备了AlN薄膜,利用X线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、原子力显微镜（AFM）对不同溅射功率下制备的AlN薄膜的结构及形貌进行了分析表