大气压He-Ar射频容性放电Ar亚稳态粒子数密度

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：winterzeng

【摘要】

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利用发射光谱法测量大气压He-Ar混合气体射频容性放电中的Ar亚稳态1s5（3s23p54s［3/2］2）粒子数密度。在不同的放电功率和气体组分下测量放电等离子体中的重要参数：气体转动温度、电

【作者】

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何永乐高俊左都罗王新兵

【机构】

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华中科技大学武汉光电国家实验室

【出处】

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强激光与粒子束

【发表日期】

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2017年5期

【关键词】

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光泵惰性气体亚稳态激光器大气压He-Ar射频放电氩亚稳态1s5粒子数密度 optically pumped metastable rare gas at

【基金项目】

：

武汉光电国家实验室自主创新基金项目（0214187070）

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利用发射光谱法测量大气压He-Ar混合气体射频容性放电中的Ar亚稳态1s5（3s23p54s［3/2］2）粒子数密度。在不同的放电功率和气体组分下测量放电等离子体中的重要参数：气体转动温度、电子激发温度和Ar亚稳态1s5粒子数密度。结果表明：气体温度在不同放电功率及Ar气压在5×103 Pa以内时变化不大,范围为300~350 K；电子激发温度随着放电功率的增加而增加,并且在Ar气压为4×103 Pa时最大,在放电功率为70 W时达到0.58 eV；1s5粒子数密度随着放电功率以及电子

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