一种扫描电镜二次电子探测器闪烁体的制备方法

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ouyang0502

【摘要】

：

<正> 扫描电镜(SEM)中的二次电子探测器闪烁体是决定SEM图像质量的关键部件。目前广泛使用P47荧光粉制作SEM闪烁体,由于制作工艺麻烦,保存性能较差,而且闪烁体的发光效率受荧

【作者】

：

钱纬韩丹

【机构】

：

昆明医学院电镜室,昆明医学院电镜室

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

1993年2期

【关键词】

：

电子显微镜 SEM 二次电子探测器闪烁体

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<正> 扫描电镜(SEM)中的二次电子探测器闪烁体是决定SEM图像质量的关键部件。目前广泛使用P47荧光粉制作SEM闪烁体,由于制作工艺麻烦,保存性能较差,而且闪烁体的发光效率受荧光粉粉层沉积厚度的直接影响,实验室制作较为困难。ST—401塑料闪烁体是在塑料中加入短余辉(5μS)荧光粉,其发光光谱主峰位于

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