CrN薄膜掺杂Mo元素改性研究

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:genye
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利用多弧离子镀技术,在4Cr13不锈钢表面制备CrN薄膜,并掺杂不同含量的Mo原子,制备CrMoN复合薄膜。用XRD、附着力划痕仪、显微硬度计和电化学测量仪分别检测复合薄膜的相结构、结合力、硬度以及在3.5%NaCl溶液、1 mol·L~(-1) NaOH溶液和1 mol·L~(-1) H_2SO_4溶液中的电化学腐蚀性能。结果表明;CrMoN复合薄膜形成了以NaCl型面心立方CrN结构为基础的(Cr,Mo)N结构;当Mo含量达到31.08%(原子分数)时,在(311)、(111)方向上出现Mo_2N的衍射峰,此时薄膜出现了CrN、(Cr,Mo)N和Mo_2N相结构并存的情况。当Mo的原子分数为7.09%时,结合力最大为57 N,显微硬度(HV)达到最大值29623 MPa;当Mo含量为14.26%时,在H_2SO_4溶液和NaOH溶液中耐蚀性能最好;当Mo含量为5.15%时,在NaCl溶液中耐蚀性能最好。复合薄膜腐蚀机理主要是局部腐蚀中的小孔腐蚀,缝隙腐蚀和电偶腐蚀也会发生。 Using multi-arc ion plating technology, CrN film was prepared on 4Cr13 stainless steel surface and different content of Mo atoms were doped to prepare CrMoN composite film. The phase structure, binding force and hardness of composite films were measured by XRD, adhesion scratch tester, microhardness tester and electrochemical measuring instrument respectively. Electrochemical Corrosion Behavior in H 2 SO 4 Solution at. The results show that (Cr, Mo) N structure is formed on the CrMoN composite film based on the NaCl-type face-centered cubic CrN structure. When the Mo content reaches 31.08% (atomic fraction) Mo 2 N diffraction peak, the film appeared CrN, (Cr, Mo) N and Mo 2 N phase coexist. When the atomic fraction of Mo is 7.09%, the maximum binding force is 57 N and the maximum microhardness (HV) reaches 29623 MPa. When the content of Mo is 14.26%, the corrosion resistance of H_2SO_4 solution and NaOH solution is the best. When Mo content is 5.15%, the corrosion resistance is the best in NaCl solution. The corrosion mechanism of the composite thin film is mainly the small hole corrosion in the local corrosion, the crevice corrosion and the galvanic corrosion also occur.
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