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用反射式动态椭圆偏振光谱技术对Cu块材、Cu薄膜及Cu厚膜的光学常数进行了测试分析。研究结果表明：与Roberts块材、Johnson厚膜数据相比，不同方法得到Cu的光学常数在谱线形状上基本相似．但在数值上存在一定差别；在波长为250～830nm范围内，Cu块材和膜的折射率n与消光系数k分别在0．1～1．5和1．5～5．0之间；随膜厚增加．n值增大，k值减小；厚膜的n、k值与块材的更为接近。同时讨论了光学常数与微结构的关系。