棋盘格子图案CCD彩色摄象管的器件结构和空间频谱

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liyibo6941
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为了发展高分辨率的家用彩色摄象管,提出了一种新奇的图象处理技术和电荷耦合器件(CCD)结构,从而减小了芯片尺寸,且放宽了对光刻的要求.CCD 摄象管的分辨率受寄生误差的限制,此寄生误差与光敏面上的空间分立取样有关.排列成两维面心长方格子的光敏列阵和三个CCD 中的空间补偿技术,避免了伴随寄生误差而产生的不希望的信号载流子.为了减小寄生效应,提出了一种图象垂直相关的新的信号处理技术。在一频谱空间,对这种新的图象处理技术进行了理论分析.用棋盘格子式图案传感单元的弯曲转移 CCD,成功地实现了具有面心长方格子式图案的光敏列阵。这种新的器件结构,放宽了对光刻的要求,并改进了图象质量.与相同象素日普通 CCD 摄象管相比,采用这种弯曲转移的 CCD 结构和新的图象处理技术,使彩色摄象管的分辨率提高到25倍.理论上,分辨率还可提高到三倍或四倍. In order to develop a high-resolution home color video tube, a novel image processing technology and a charge-coupled device (CCD) structure are proposed to reduce the chip size and relax the need for lithography. The resolution of the tube is limited by the parasitic error associated with spatially separated samples on the photo-sensitive surface.The photo-alignment array arranged in a two-dimensional area centroid and the spatial compensation technique in the three CCDs avoids the parasitic In order to reduce the parasitics, a new signal processing technique of image vertical correlation is proposed. In a spectral space, this new image processing technology is analyzed theoretically.Using the CCD of the chessboard lattice pattern sensing unit to bend and transfer, a photosensitive array with a face-centered rectangular grid pattern has been successfully realized. This new device structure, to relax the lithography requirements and improve the image quality with the same pixel ordinary CCD camera compared to the use of this curved CCD structure and the transfer of new image processing technology , So that the color camera tube resolution increased to 25. In theory, the resolution can be increased to three times or four times.
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