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激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术。其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点。利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量。首先介绍了目前主要的激光干涉位移测量技术,并对干涉仪的特点进行了分析,最后介绍了激光干涉位移测量在XY工作台定位精度、垂直度测量的应用。
激光干涉仪在XY工作台测量中的应用
【摘 要】
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激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术。其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点。利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量。首先介绍了目前
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年5期
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