【摘 要】
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溴化氢与同族的氯化氢相比,具有更强的吸湿性,能够快速结合成水合物,进而导致溴化氢对纯化装置的腐蚀。目前国内对极易吸湿气体中痕量水深度脱除方法研究相对有限,限制了高纯溴化氢在集成电路制造、医药领域的高端应用。基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场分析,运用冲突矩阵、分离原理、76个标准解、效应、进化、剪裁等工具,提出了一系列的创新方法。对吸附剂进行科学改性、简化了工艺系统,既克服了酸性气体的腐蚀性,又保持了吸附脱水性能,可以为易吸湿与腐蚀性气体的分离产业化提供借鉴。
【机 构】
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天津绿菱气体有限公司,绿菱电子材料（天津）有限公司
【基金项目】
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国家创新方法工作专项“天津市创新方法推广应用与示范”(项目编号:2017IM010800),2019年天津市重点研发计划科技支撑重点项目(项目编号:19YFZCGX00050),2018年工业转型升级资金(部门预算)国家新材料生产应用示范平台建设项目之课题3“集成电路工艺用材料生产应用示范平台”(项目编号:TC180A6MR)研究成果之一。
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溴化氢与同族的氯化氢相比,具有更强的吸湿性,能够快速结合成水合物,进而导致溴化氢对纯化装置的腐蚀。目前国内对极易吸湿气体中痕量水深度脱除方法研究相对有限,限制了高纯溴化氢在集成电路制造、医药领域的高端应用。基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场分析,运用冲突矩阵、分离原理、76个标准解、效应、进化、剪裁等工具,提出了一系列的创新方法。对吸附剂进行科学改性、简化了工艺系统,既克服了酸性气体的腐蚀性,又保持了吸附脱水性能,可以为易吸湿与腐蚀性气体的分离产业化提供借鉴。
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