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模拟并设计了一种基于表面微机械加工的平面MEM电感,提出了它的等效电路模型并给出模型中参数的提取方法。由模拟结果验证了该等效电路具有较高的精度,误差在8%以内。设计的一个3.6nH的平面MEM电感的品质因数超过20,自谐振频率超过15GHz。由平面MEM电感构成的5阶LC低通滤波器的-3dB带宽为3.7GHz,0-3GHz内的插入损耗低于1dB。