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AlN陶瓷是一种新型的基板材料,具有优异的电性能和热性能,被誉为新一代高密度封装的理想基板材料。介绍AlN陶瓷的典型性能和导热机理;讨论AlN粉末的5种合成方法:铝粉直接氮化法、Al2O3碳热还原法、化学气相沉积法、溶胶?凝胶法、自蔓延高温合成法和等离子化学合成法;分析AlN烧结助剂的选择和5种烧结工艺:热压烧结、无压烧结、放电等离子烧结、微波烧结及自蔓延烧结;阐述AlN基板的制备工艺及其影响因素。