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采用溶胶凝胶实验方法，研究了TiO2薄膜厚度、退火温度及退火时间对薄膜晶相结构、表面形貌和光催化性能的影响。结果表明，TiO2薄膜光催化活性随着薄膜厚度的增加而增加，当薄膜厚度为3层时，光催化活性达到最大，层数超过3层时，薄膜的光催化活性随薄膜厚度的增加反而降低；当退火温度为550℃时，TiO2薄膜中出现金红石相，质量分数为25．4％，此时的光催化效率最高；随着退火时间的延长，TiO2晶粒尺寸逐渐变大，光催化活性逐渐减弱。