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采用放电等离子烧结（SPS）方法烧结出了致密的掺镓氧化锌陶瓷（0.075wt%GZO）。样品的烧结温度为950-1200℃,烧结时间为3-21 min,并对样品的物相、断口形貌、电学性能以及密度进行了测试和分析。结果表明,烧结条件对GZO的晶体结构没有影响,但是对样品的密度、晶粒尺寸、电阻率等性质有一定的影响。综合分析上述结果可得到用SPS方法烧结GZO陶瓷的最佳烧结工艺是烧结温度1100℃,烧结时间9 min。