微波等离子体CVD金刚石薄膜的显微结构

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用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对6种微波等离子体CVD金刚石薄膜的表面形貌和显微结构进行了研究,结果表明:在金刚石晶粒长大过程中,(111)面方向长大时产生密度很高的微挛晶缺陷,而(100)面方向长大时产生的晶体缺陷较少。
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