【摘 要】
：
据《Semiconductor FPD World》2003年第12期报道,日本富士通和富士通研究所为了提高90nm尺寸IC的量产水平,开发了可精细加工CMOS晶体管栅电极的自适应工艺控制(APC)技术。
论文部分内容阅读
据《Semiconductor FPD World》2003年第12期报道,日本富士通和富士通研究所为了提高90nm尺寸IC的量产水平,开发了可精细加工CMOS晶体管栅电极的自适应工艺控制(APC)技术。该技术在光刻过程中可自动测定光刻胶状况,并将结果自动前馈(feedforward)于下
According to “Semiconductor FPD World” 2003 the twelfth report, Japan’s Fujitsu and Fujitsu Research Institute in order to improve the 90nm size IC production levels, the development of the SCR process can be fine-grained gate electrode adaptive process control (APC) technology. The technology automatically measures resist conditions during lithography and automatically feeds the results down
其他文献
<正> 中国科学院地貭研究所与昆明地貭研究所于4月20—25日在昆明召开了鉻镍专业现场会議。会議的目的是检查地貭研究所和昆明地貭所几个铬镍研究小队在华南一带的工作,交流
目的观察急性心肌缺血大鼠心肌组织内孤啡肽(orphanin FQ,OFQ)的表达变化,探讨孤啡肽在急性心肌缺血中的作用。方法 54只260～280g健康成年雄性SD大鼠,按随机数字表法分为3组:
常规赛战罢,热队、尼克斯、超音速等队的球员们终于可以舒缓一下紧张的肌肉和神经了,度假也好,与家人团聚也罢,总之在接下来的半年时间内,他们无须为自己的球队操心了。但是
镧系位移试剂被认为是70年代核磁共振五大进展之一。在图谱一级化、吸收峰归属及立体结构测定等方面有很多应用。镧系位移试剂用于立体结构的测定,曾号称是“溶液中的X射线
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
中国是一个农业大国,占全国85%的人口生活在农村,搞好农业生产,提高农民生活水平和文化素质,对于维护社会稳定,促进经济协调发展与社会全面进步,都是必不可少的重要的基础性
本文利用地理加权回归方法,探讨中国旅游空间异质性,模型最终结果显示经济外向度和旅游资源对中国旅游游客数量有积极的影响,而且推动力度比较大,地理距离与中国旅游游客的数
高职教育要加强对学生素质的培养必须从树立素质教育理念,加强素质教育实践,深化课程改革、确立素质教育考评机制,严格教学管理制度等几个方面入手,切实把素质教育落到实处,
苏联最近出版了一本新书“矿石的结构和构造”。这本书是在А.Γ.别捷赫金院士领导下由А.Д.干肯((?)),A.A.费理蒙诺娃((?)).T.H.沙德龙((?))共同参加编著的。作者引用并综
最近在福建省连江和罗源一带,当地人民在开采砂矿时发现有原油自中生代砂砾岩的裂隙中流出。油呈褐黑色,粘
Recently, in the Lianjiang and Luoyuan areas of Fujian Prov