论文部分内容阅读
为了测量晶体生长过程中旋转籽晶的结晶界面温度,针对旋转籽晶不便布线的问题,提出了用单片机和PT2262/2272无线发射/接收芯片与热电偶结合设计温度无线传感器的新方法。设计制作了一种无线温度传感器,经安装试用获得成功。较好地解决了旋转籽晶结晶界面温度检测问题。对晶体整个生长过程中结晶界面温度进行了实时检测、存储和记录。为分析晶体生长缺陷,进一步提高晶体生长质量提供了第一手资料。