【摘 要】
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本文从C_z硅单晶中氧含量的测试实验中找出了我厂4英寸电路级C_z硅单晶中氧的轴向分布规律,为生产检测中按规定氧含量切割单晶提供了准确的实验数据.另外,本文还对影响C_z硅
【机 构】
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峨嵋半导体材料厂、所 峨眉山市614200
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本文从C_z硅单晶中氧含量的测试实验中找出了我厂4英寸电路级C_z硅单晶中氧的轴向分布规律,为生产检测中按规定氧含量切割单晶提供了准确的实验数据.另外,本文还对影响C_z硅单晶氧含量及轴向分布的因素作了初步的探讨.
In this paper, the axial distribution of oxygen in C_z silicon single crystal of 4-inch circuit of our factory was found out from the experiment of oxygen content in C_z silicon single crystal, which provided an accurate experiment for cutting single crystal with oxygen content in production test In addition, this paper also made a preliminary discussion on the factors affecting the oxygen content and axial distribution of C_z silicon single crystal.
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