用于超大规模集成电路的化工材料

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概述随着半导体技术的发展,在本世纪五十年代,就提出了集成电路的概念。这种电路,是在一个半导体片上,同时制作出若干器件,并在结构内部把这些器件连接起来形成电路。英文名称是Integrated circuit,简称IC。而大规模集成电路,则是在一个半导体片上,同时制做出若干电路,并在结构内部把这些电路互连起来形成一个功能集成器件。它是一个复杂功能系统。一般认为, Overview With the development of semiconductor technology, in the fifties of this century, put forward the concept of integrated circuits. The circuit, on the one semiconductor chip, produces several devices at the same time, and connects the devices within the structure to form a circuit. English name is Integrated circuit, referred to as IC. Large-scale integrated circuits, on the other hand, are fabricated on a semiconductor chip while producing a number of circuits and interconnecting these circuits within the structure to form a functional integrated device. It is a complex functional system. Generally considered,
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