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采用磁控溅射方法在ITO玻璃上成功制备了具有良好c轴取向的ZnO薄膜．并研究了氧偏压对ZnO薄膜结构的影响、研究发现：当氧偏压为60％时，薄膜的结晶性最好．当氧偏压继续升高时将导致薄膜的结晶性变差，晶粒尺寸变小，晶界增多，薄膜表面粗糙度增加，对光的散射和吸收作用增强，从而导致光的透过率降低．
氧偏压对ZnO薄膜结构的影响
【摘 要】
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采用磁控溅射方法在ITO玻璃上成功制备了具有良好c轴取向的ZnO薄膜．并研究了氧偏压对ZnO薄膜结构的影响、研究发现：当氧偏压为60％时，薄膜的结晶性最好．当氧偏压继续升高时将导致薄
【机 构】
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商丘职业技术学院
【出 处】
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化学研究
【发表日期】
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2008年2期
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