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用离子束辅助沉积技术在ＧＣｒ１５钢基体上形成了ＴｉＣｘＮｙ膜ＴＥＭ观察揭示，膜呈多晶结构，具有（１１１），（２００）和（２２０）择优取向，ＡＥＳ和ＸＰＳ分析进一步证实，ＴｉＣｘＮｙ膜呈含氧配置，膜的硬度和摩擦特性与Ｎ含量有关，Ｎ的过高含量对提高表面硬度不明显，但摩擦特性明显下降，在作者在实验条件下，以３×１０＾１７／ｃｍ＾２的注量为宜，干摩擦表明，膜的抗氧化性能优良，不仅存在能有效地抑制基本在摩擦